中瓷电子：陶瓷加热盘通过验证并批量应用
创始人
2026-07-13 23:12:17
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证券之星消息，中瓷电子(003031)07月13日在投资者关系平台上答复投资者关心的问题。

投资者提问：请问：目前公司半导体加热器及半导体卡盘业务发展情况如何？2026年该业务体量在整个营收中的占比有多大？

中瓷电子回复：您好，公司精密陶瓷零部件是采用氧化铝、氮化铝等先进陶瓷经精密加工后制备的半导体设备用核心零部件，具有高强度、耐腐蚀、高精度等优异性能，应用于半导体关键设备中。公司持续加大精密陶瓷零部件领域的研发和投入力度，已开发了氧化铝、氮化铝精密陶瓷零部件产品，建立了精密陶瓷零部件制造工艺平台。开发的陶瓷加热盘产品核心技术指标已达到国际同类产品水平并通过用户验证，已批量应用于国产半导体设备中，静电卡盘产品已经通过国内头部半导体设备公司上机验证。谢谢您的关心。

本文数据来源于深圳证券交易所互动易，仅供参考不构成投资建议。

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