北方集成电路申请校准装置及方法专利，提高半导体设备利用率
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2026-03-21 02:09:43
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国家知识产权局信息显示，北方集成电路技术创新中心（北京）有限公司申请一项名为“一种校准装置以及校准方法”的专利，公开号CN121693042A，申请日期为2025年8月。
专利摘要显示，本申请提供一种校准装置以及校准方法，所述校准装置包括：温度探测器，温度探测器用于获取探测光路对应的探测点的实时温度，探测点位于预先设置的半导体设备的腔室目标区域内；驱动件，驱动件与温度探测器连接，驱动件用于调整探测光路的光线传播方向；控制器，控制器分别与驱动件以及温度探测器连接，控制器被配置为获取探测点的实时温度，并依据实时温度变化曲线与参考温度变化曲线，判断探测点是否位于所述目标区域内，并在探测点不在目标区域时控制驱动件进行调节，进而带动温度探测器改变探测光路的方向以使得探测点属于目标区域。本申请可以实现不降温停机的情况下对位置发生偏移的温度探测器进行调节，提高半导体设备的利用率。
天眼查资料显示，北方集成电路技术创新中心（北京）有限公司，成立于2017年，位于北京市，是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本20000万人民币。通过天眼查大数据分析，北方集成电路技术创新中心（北京）有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目22次，财产线索方面有商标信息6条，专利信息571条，此外企业还拥有行政许可125个。
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来源：市场资讯
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