北方华创申请隔离环及半导体工艺设备专利，提高托盘的温度均匀性
创始人
2026-03-06 05:41:17
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国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“一种隔离环、工艺腔室及半导体工艺设备”的专利，公开号CN121593180A，申请日期为2025年11月。
专利摘要显示，本申请公开了一种隔离环、工艺腔室及半导体工艺设备，隔离环采用透明材料制作，用于设置在工艺腔室的侧壁内侧，以进行隔热，所述隔离环包括相对设置的第一面和第二面，所述第一面用于靠近所述工艺腔室的底部设置，所述第二面用于靠近所述工艺腔室的顶部设置；所述隔离环内设有光束偏转面，用于对由所述第一面入射的第一入射光或由所述第二面入射的第二入射光进行作用，使至少部分所述第一入射光或至少部分所述第二入射光的光路发生改变，以射向所述隔离环的内侧的预设区域。本申请的隔离环可以对托盘的冷区进行补温，提高托盘的温度均匀性。
天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1391次，财产线索方面有商标信息67条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可340个。
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来源：市场资讯
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