博世申请微电子机械传感器构件和惯性传感器专利，用于电容检测地震质量的偏转并提供电容有用信号
创始人
2026-03-04 15:14:51
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国家知识产权局信息显示，罗伯特·博世有限公司申请一项名为“微电子机械传感器构件和微电子机械惯性传感器”的专利，公开号CN121595903A，申请日期为2025年8月。
专利摘要显示，一种微电子机械传感器构件(1)，其具有：带有衬底表面(2a)的衬底(2)；与衬底(2)连接且通过悬挂弹簧(3)可相对于衬底(2)移动的地震质量(4)，地震质量可在垂直于衬底表面(2a)延伸的偏转方向(A)上偏转；以及布置在衬底与地震质量之间的评估电极(5)，其用于电容检测地震质量(4)的偏转并提供电容有用信号，微电子机械传感器构件(1)还包括：具有多个参考电极区段(6a)的参考电极(6)，它们形成至少区段式围绕地震质量(4)的参考电极框架(6b)，参考电极(6)通过至少两个连接点(7)锚定在衬底(2)上，且相应参考电极区段(6a)在两个连接点(7)之间悬挑地延伸；以及布置在衬底(2)与参考电极(6)之间的参考对电极(9)，用于与参考电极共同作用以提供电容参考信号。还涉及一种具有这种微电子机械传感器构件的微电子机械惯性传感器(20)。
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