鼎汇微电子申请抛光软垫及其制备方法专利，适用于精细抛光制程
国家知识产权局信息显示，湖北鼎汇微电子材料有限公司;湖北鼎龙汇盛新材料有限公司;湖北鼎龙控股股份有限公司申请一项名为“抛光软垫及其制备方法、以及半导体器件的制造方法”的专利，公开号CN121552244A，申请日期为2025年11月。
专利摘要显示，本发明涉及一种抛光软垫及其制备方法，以及一种半导体器件的制造方法，该抛光软垫包括第一异氰酸酯、与第一异氰酸酯不同的第二异氰酸酯、聚醚多元醇、扩链剂和补强材料。其中，扩链剂为水合肼；补强材料为三元羟基氯醋树脂与二元氯醋树脂两种组合。此外补强材料质量分数为25~45wt%，弹性模量为50~100MPa。本发明提供的抛光软垫，弹性模量高，去除率高，累计使用寿命长，且经由其抛光后的晶圆表面缺陷低，适用于精细抛光制程。
天眼查资料显示，湖北鼎汇微电子材料有限公司，成立于2015年，位于武汉市，是一家以从事化学原料和化学制品制造业为主的企业。企业注册资本10947.3684万人民币。通过天眼查大数据分析，湖北鼎汇微电子材料有限公司共对外投资了3家企业，参与招投标项目17次，财产线索方面有商标信息5条，专利信息86条，此外企业还拥有行政许可23个。
湖北鼎龙汇盛新材料有限公司，成立于2019年，位于省直辖县级行政区划，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本20000万人民币。通过天眼查大数据分析，湖北鼎龙汇盛新材料有限公司参与招投标项目9次，专利信息33条，此外企业还拥有行政许可65个。
湖北鼎龙控股股份有限公司，成立于2000年，位于武汉市，是一家以从事资本市场服务为主的企业。企业注册资本93828.2591万人民币。通过天眼查大数据分析，湖北鼎龙控股股份有限公司共对外投资了29家企业，参与招投标项目43次，财产线索方面有商标信息34条，专利信息282条，此外企业还拥有行政许可56个。
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来源：市场资讯