中芯国际申请半导体结构及其形成方法专利,有利于提高半导体结构制作良率
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2025-11-24 19:07:38
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国家知识产权局信息显示,中芯国际集成电路制造(上海)有限公司申请一项名为“半导体结构及其形成方法”的专利,公开号CN 120998874 A,申请日期为2024年5月。

专利摘要显示,一种半导体结构及其形成方法,包括:提供基底;所述基底包括用于形成半导体鳍第一区域,以及位于第一区域之间第二区域;形成位于第一区域基底上多个半导体鳍;形成覆盖多个半导体鳍的隔离层,隔离层在第二区域围成位于半导体鳍之间的隔离沟槽;在隔离沟槽内填充介质层;去除部分隔离沟槽内介质层及位于介质层下方隔离层和部分基底,形成互连沟槽;形成位于互连沟槽底部的底部连接线;在互连沟槽内形成位于底部连接线上方的伪垂直连接线;在伪垂直连接线两侧半导体鳍上形成源漏掺杂层;形成横跨多个半导体鳍的栅极结构;去除伪垂直连接线;在互连沟槽内填充导电材料,形成位于底部连接线上互连导电层;本发明实施例有利于提高半导体结构制作良率。

天眼查资料显示,中芯国际集成电路制造(上海)有限公司,成立于2000年,位于上海市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本244000万美元。通过天眼查大数据分析,中芯国际集成电路制造(上海)有限公司共对外投资了4家企业,参与招投标项目127次,财产线索方面有商标信息150条,专利信息5000条,此外企业还拥有行政许可446个。

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来源:市场资讯

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