苏州科洛尔取得用于半导体加工设备的进气设备专利，有利于工艺的均匀性
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2026-02-17 10:23:54
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国家知识产权局信息显示，苏州科洛尔精密制造有限公司取得一项名为“一种用于半导体加工设备的进气设备”的专利，授权公告号CN223921630U，申请日期为2025年3月。
专利摘要显示，本实用新型公开了一种用于半导体加工设备的进气设备，涉及进气设备领域，包括进气管，所述进气管的底端设置有混气管，所述混气管的内壁设置有混气扇叶，所述混气管内腔的底壁设置有导流套，所述导流套外壁的下侧均匀开设有出气口，本新型方案能够通过设置进气管、混气管和混气扇叶等装置相配合，可以使装置便于对进入的多种气体组分的工艺气体进行混合，避免工艺腔室中的工艺气体的组分分布不均，使得衬底不同位置的反应效率一致，有利于工艺的均匀性；通过设置导流套、扰流杆和混气管等装置相配合，可以使装置便于对工艺气体进行扰流混合，使得多种气体组分的工艺气体混合更加均匀，提高装置的混合效率。
天眼查资料显示，苏州科洛尔精密制造有限公司，成立于2022年，位于苏州市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本500万人民币。通过天眼查大数据分析，苏州科洛尔精密制造有限公司专利信息2条，此外企业还拥有行政许可2个。
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来源：市场资讯
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