武汉武重铸锻申请超精密晶圆减薄设备回转台铸件专利，满足半导体加工设备高稳定性要求_芯片

武汉武重铸锻申请超精密晶圆减薄设备回转台铸件专利，满足半导体加工设备高稳定性要求

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2026-02-16 12:41:51

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国家知识产权局信息显示，武汉武重铸锻有限公司申请一项名为“一种超精密晶圆减薄加工设备的回转台铸件及其铸造方法”的专利，公开号CN121514437A，申请日期为2025年9月。

专利摘要显示，本发明公开一种超精密晶圆减薄加工设备的回转台铸件及其铸造方法，铸造方法包括选取砂箱造型，采用“平做立浇”的方式；选取分型面，制作铸件砂芯、铸件砂型和盖箱；在制作铸件砂型时完成冷铁系统的预埋操作和浇注系统的布设，根据铁水成分进行熔炼，获取铁水，然后进行浇注；浇注后铸件本体自然冷却，落砂清理后得到所述铸件本体，对所述铸件本体进行多次焖火调节残余应力。本铸造方法通过对造型和浇注方式的改进，确保其造型操作简单的同时，提升铸件产品的质量，使得制作的回转台铸件的孔洞类缺陷较少，表面质量优良，硬度、刚度和残余应力等力学性能符合设计要求，满足半导体加工设备铸件高稳定性、高精度保持性等要求。

天眼查资料显示，武汉武重铸锻有限公司，成立于2002年，位于武汉市，是一家以从事通用设备制造业为主的企业。企业注册资本7676.554万人民币。通过天眼查大数据分析，武汉武重铸锻有限公司参与招投标项目20次，专利信息52条，此外企业还拥有行政许可4个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

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