东部超导取得高温超导膜MOCVD工艺混合化学源蒸发器专利，大大提高蒸发速率_芯片

东部超导取得高温超导膜MOCVD工艺混合化学源蒸发器专利，大大提高蒸发速率

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2026-02-11 16:19:54

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国家知识产权局信息显示，东部超导科技（苏州）有限公司取得一项名为“一种高温超导膜MOCVD工艺混合化学源蒸发器”的专利，授权公告号CN223892854U，申请日期为2025年1月。

专利摘要显示，本实用新型涉及超导膜制备技术领域，本实用新型要解决的技术问题是蒸发速率低，温度不均匀。为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种高温超导膜MOCVD工艺混合化学源蒸发器。本实用新型包括：筒体内部设有密封腔体；蒸发器底座设于密封腔体的底部；蒸发器底座包括底座本体以及设于底座本体上表面的多个叠置层；多个叠置层依次叠置；自下至上，多个叠置层的外壁在密封腔体底部的投影依次减小；叠置层的外壁为圆弧形；加热组件包括的多个第一加热件设于底座本体中；第二加热件设于筒体上；温度检测组件设于密封腔体中，用于实时监测密封腔体的温度；控制组件与温度检测组件、加热组件电性连接。本实用新型大大提高蒸发速率，温度更均匀。

天眼查资料显示，东部超导科技（苏州）有限公司，成立于2017年，位于苏州市，是一家以从事有色金属冶炼和压延加工业为主的企业。企业注册资本6420万人民币。通过天眼查大数据分析，东部超导科技（苏州）有限公司共对外投资了3家企业，参与招投标项目18次，财产线索方面有商标信息4条，专利信息175条，此外企业还拥有行政许可22个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

企业密封温度投资蒸发器底座化学混合专利苏州腔体超导科技超导膜叠置层

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