截至2026年1月15日13:22，上证科创板半导体材料设备主题指数强势上涨1.03%，成分股艾森股份上涨5.79%，芯源微上涨4.44%，和林微纳上涨4.34%，兴福电子，新益昌等个股跟涨。科创半导体ETF（588170）上涨0.87%。

截至2026年1月15日13:23，中证半导体材料设备主题指数强势上涨1.51%，成分股南大光电上涨10.87%，三佳科技上涨9.99%，上海新阳上涨9.71%，矽电股份，艾森股份等个股跟涨。半导体设备ETF华夏（562590）上涨1.42%。

长期来看，国金证券表示，半导体设备是半导体产业链的基石，存储扩产与自主可控共振，国产替代空间广阔。半导体设备位于产业链上游，是支撑芯片制造与封测的核心产业。根据SEMI的数据，2025年上半年仍以33.2%的份额保持全球最大单一市场地位，国内设备龙头业绩表现亮眼，2025年前三季度八家龙头公司合计营收同增37.3%，归母净利润同增23.9%。随着AI大模型驱动存储技术向3D化演进，叠加长鑫、长存等国内存储大厂扩产项目落地，国产半导体设备产业链有望迎来新一轮高速增长机遇。

相关ETF：公开信息显示， 科创半导体ETF(588170)及其联接基金(A类：024417；C类：024418)跟踪上证科创板半导体材料设备主题指数，是科创板中唯一精准布局半导体设备（60%）和半导体材料（25%）细分领域的指数。 半导体设备和材料行业是重要的国产替代领域，具备国产化率较低、国产替代天花板较高属性，受益于人工智能革命下的半导体需求，扩张、科技重组并购浪潮、光刻机技术进展。

半导体设备ETF华夏（562590）及其联接基金（A类：020356；C类：020357），指数中半导体设备（62%）含量全市场最高，半导体材料（24%）占比靠前，充分聚焦半导体上游。

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