微铁克光电申请检测装置及检测方法专利，提高除静电的效率
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2026-01-08 00:07:13
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国家知识产权局信息显示，上海微铁克光电设备有限公司申请一项名为“检测装置及检测方法”的专利，公开号CN121275794A，申请日期为2025年9月。
专利摘要显示，本发明提供了一种检测装置，包括：光学部、除静电部以及置物平台；所述置物平台用于放置基板；所述除静电部设置在所述置物平台的两侧，所述除静电部可在第一点位以及第二点位之间移动；所述光学部设置在所述置物平台的上方，可在平行于所述置物平台的平面内移动，用于对所述置物平台上的基板的任意位置进行观测加工；其中，当所述除静电部位于所述第一点位时，所述除静电部对所述基板的上表面进行除静电处理；当所述除静电部位于所述第二点位时，所述除静电部避开所述光学部的干涉；可移动的除静电部实现避开光学部干涉的同时，近距离去除静电，提高除静电的效率。
天眼查资料显示，上海微铁克光电设备有限公司，成立于2014年，位于上海市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本174.2627万美元。通过天眼查大数据分析，上海微铁克光电设备有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目19次，专利信息7条，此外企业还拥有行政许可5个。
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来源：市场资讯
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