微铁克光电申请检测装置及检测方法专利,提高除静电的效率
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2026-01-08 00:07:13
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国家知识产权局信息显示,上海微铁克光电设备有限公司申请一项名为“检测装置及检测方法”的专利,公开号CN121275794A,申请日期为2025年9月。

专利摘要显示,本发明提供了一种检测装置,包括:光学部、除静电部以及置物平台;所述置物平台用于放置基板;所述除静电部设置在所述置物平台的两侧,所述除静电部可在第一点位以及第二点位之间移动;所述光学部设置在所述置物平台的上方,可在平行于所述置物平台的平面内移动,用于对所述置物平台上的基板的任意位置进行观测加工;其中,当所述除静电部位于所述第一点位时,所述除静电部对所述基板的上表面进行除静电处理;当所述除静电部位于所述第二点位时,所述除静电部避开所述光学部的干涉;可移动的除静电部实现避开光学部干涉的同时,近距离去除静电,提高除静电的效率。

天眼查资料显示,上海微铁克光电设备有限公司,成立于2014年,位于上海市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本174.2627万美元。通过天眼查大数据分析,上海微铁克光电设备有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目19次,专利信息7条,此外企业还拥有行政许可5个。

声明:市场有风险,投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成,仅供参考,不构成个人投资建议。

来源:市场资讯

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