应用材料申请用于半导体制造的加热器及相关腔室套件和处理腔室专利，适用于半导体制造的腔室套件包括加热器和内衬
创始人
2026-01-07 12:37:26
0次
国家知识产权局信息显示，应用材料公司申请一项名为“用于半导体制造的加热器及相关腔室套件和处理腔室”的专利，公开号CN121285652A，申请日期为2024年10月。
专利摘要显示，本揭示案系关于用于半导体制造的加热器及相关腔室套件和处理腔室。在一或多个实施例中，一种适用于半导体制造的腔室套件包括加热器和内衬。加热器包括弧形加热器主体，该弧形加热器主体包括一或多个第一部分、一或多个第二部分以及一或多个连接器部分。加热器包括耦合至弧形加热器主体的第一电极和耦合至弧形加热器主体的第二电极。内衬包括经确定大小及形状以支撑弧形加热器主体的壁架、经确定大小及形状以穿过其中接收加热器的至少部分的第一开口，以及经确定大小及形状以穿过其中接收加热器的至少部分的第二开口。
声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。
来源：市场资讯
相关内容
热门资讯
中山周道电子取得灯具用太阳能充...
国家知识产权局信息显示，中山周道电子有限公司取得一项名为“一种灯具用太阳能充电保护电路”的专利，授权...
每周股票复盘：国博电子（688...
截至2026年1月9日收盘，国博电子（688375）报收于129.99元，较上周的93.11元上涨3...
部蓝创新申请用于泳池机器人的电...
国家知识产权局信息显示，杭州部蓝创新科技有限公司申请一项名为“一种用于泳池机器人的电源路径管理系统”...
每周股票复盘：西部超导（688...
截至2026年1月9日收盘，西部超导（688122）报收于92.95元，较上周的74.58元上涨24...
宁夏电力能源取得分布式光伏发电...
国家知识产权局信息显示，宁夏电力能源科技有限公司取得一项名为“分布式光伏发电的监控与信息采集系统”的...
原创 中...
最近国际上最受关注的事儿，莫过于中国对日本打出的“双线反制组合拳”。1月6日刚宣布加强两用物项对日出...
淮安若安电子科技申请精密芯片焊...
国家知识产权局信息显示，淮安若安电子科技有限公司申请一项名为“一种精密芯片焊接设备”的专利，公开号C...
希烽光电申请层间垂直耦合分光及...
国家知识产权局信息显示，希烽光电科技（南京）有限公司;NANO科技（北京）有限公司申请一项名为“一种...
博最科技取得主副电源低压降切换...
国家知识产权局信息显示，博最科技（苏州）有限公司取得一项名为“一种主副电源低压降切换电路”的专利，授...
罗博网联申请无人车传感器清洗控...
国家知识产权局信息显示，罗博网联（杭州）信息技术有限公司申请一项名为“无人车的传感器清洗控制方法及其...