博世申请具有改进敏感度的MEMS传感器专利，使第一振动质量的偏转引起第二振动质量朝相反方向偏转
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2026-05-22 19:11:33
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国家知识产权局信息显示，罗伯特·博世有限公司申请一项名为“具有改进的敏感度的MEMS传感器以及具有这种MEMS传感器的传感器装置”的专利，公开号CN122072282A，申请日期为2025年11月。
专利摘要显示，本发明涉及一种微机电传感器，包括基底、在探测方向上具有多个相继布置的固定指状电极相对于基底固定电极组件和质量组件，质量组件具有相对于在探测方向上基底能弹性偏转的包括由多个活动指状电极构成的第一活动电极组件的第一振动质量，和相对于基底在探测方向上能弹性偏转的包括由多个活动指状电极构成的第二活动电极组件第二振动质量，第一活动电极组件的指状电极和第二活动电极组件的指状电极分别交替地与固定电极组件的指状电极梳式地嵌接，质量组件还包括使第一振动质量与第二振动质量能活动地机械连接的耦合装置，其构造为用于，使第一振动质量的偏转引起第二振动质量朝分别相反的方向上的相应的偏转。
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来源：市场资讯
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