宝鼎乾芯申请晶圆清洗机及风机过滤单元故障检测电路专利，减少对晶圆质量及机台的影响_芯片

宝鼎乾芯申请晶圆清洗机及风机过滤单元故障检测电路专利，减少对晶圆质量及机台的影响

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2025-12-31 23:36:46

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国家知识产权局信息显示，宝鼎乾芯集成电路（杭州）有限公司申请一项名为“晶圆清洗机及风机过滤单元故障检测电路”的专利，公开号CN121237690A，申请日期为2025年9月。

专利摘要显示，一种晶圆清洗机及风机过滤单元故障检测电路。所述风机过滤单元故障检测电路应用于清洗机内，所述清洗机包括：风速仪、风机过滤单元、排风控制电路以及第一报警单元；所述风机过滤单元用于产生风，所述风速仪用于检测所述风机过滤单元的出风风速，所述排风控制电路用于根据所述风机过滤单元的出风风速控制所述第一报警单元是否报警；所述风机过滤单元故障检测电路，与所述风速仪及所述排风控制电路连接，用于获取所述风速仪的检测结果，并基于所述检测结果确定所述风机过滤单元是否故障，以及在所述风机过滤单元发生故障时，通过所述排风控制电路触发所述第一报警单元报警。采用上述方案，可以对清洗机内风机过滤单元进行故障监测，以减少对晶圆质量及机台的影响。

天眼查资料显示，宝鼎乾芯集成电路（杭州）有限公司，成立于2021年，位于杭州市，是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本100000万人民币。通过天眼查大数据分析，宝鼎乾芯集成电路（杭州）有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目25次，专利信息13条，此外企业还拥有行政许可14个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

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