北方华创申请半导体工艺腔室及其控制方法专利，改善上电极翻转过程中的剐蹭问题
创始人
2025-12-31 18:10:00
0次
国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“半导体工艺腔室及其控制方法”的专利，公开号CN121228176A，申请日期为2024年6月。
专利摘要显示，本申请实施例提供了一种半导体工艺腔室及其控制方法，以解决如何改善上电极翻转过程中，可能会剐蹭到其它器件的问题；其中，所述半导体工艺腔室包括：封盖装置和腔体组件；封盖装置包括：上盖组件、驱动组件和旋转臂；上盖组件包括上电极，上电极设有靶材安装部，靶材安装部用于安装靶材，驱动组件用于驱动上盖组件绕旋转臂的转轴翻转，以使上电极在开盖位置和中转位置之间切换；腔体组件设有待封盖口，驱动组件还用于驱动上电极沿直线朝靠近或远离待封盖口的方向运动，以使上电极在封盖位置和中转位置之间切换，在上电极位于中转位置的情况下，设置于靶材安装部的靶材位于待封盖口的外部。
天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1335次，财产线索方面有商标信息67条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可340个。
声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。
来源：市场资讯
相关内容
热门资讯
资讯揭晓-如皋麻将胡智能插件包...
如皋麻将胡资讯揭晓-如皋麻将胡智能插件包测试_（附图文教程）如皋麻将胡辅助器中分为三种模型：如皋麻将...
资讯揭晓-朋友桂柳麻将智能插件...
资讯揭晓-朋友桂柳麻将智能插件包测试_（附图文教程）亲，[朋友桂柳麻将]这款游戏可以开挂的，确实是有...
第1分钟辅助挂“中至麻将开挂辅...
第1分钟辅助挂“中至麻将开挂辅助脚本!确实有挂”2026年07月07日 12时27分27秒
今日必看教程“蜀山四川麻将透视...
今日必看教程“蜀山四川麻将透视挂通用版!辅助教学”2026年07月07日 12时24分50秒
辅助神器“吉祥踢坑辅助软件挂!...
辅助神器“吉祥踢坑辅助软件挂!记者曝光内幕”2026年07月07日 12时22分14秒
辅助教程分享“友乐广西麻将开挂...
辅助教程分享“友乐广西麻将开挂方法教程!开挂辅助脚本+详细开挂”2026年07月07日 12时19分...
辅助教程实测“微乐锦州麻将外挂...
辅助教程实测“微乐锦州麻将外挂作弊方法!实测确实真的有挂”2026年07月07日 12时17分06秒
辅助神器“吉祥麻将开挂辅助软件...
辅助神器“吉祥麻将开挂辅助软件!哔哩哔哩已升级”2026年07月07日 12时14分29秒
2026玩家普及“福麻圈能不能...
2026玩家普及“福麻圈能不能辅助!怎么开挂”2026年07月07日 12时11分57秒
2026玩家实测“闽游福建麻将...
2026玩家实测“闽游福建麻将辅助透视!开挂辅助脚本+详细开挂”2026年07月07日 12时09分...