中微半导体申请MOCVD设备托盘高度测量系统专利，有助于提高基片上沉积的薄膜质量
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2025-12-27 11:37:08
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国家知识产权局信息显示，中微半导体设备（上海）股份有限公司申请一项名为“MOCVD设备及其中托盘高度测量系统及方法”的专利，公开号CN121207045A，申请日期为2024年6月。
专利摘要显示，本发明提供一种MOCVD设备及其中托盘高度测量系统及方法。本发明在工艺过程中监测大托盘上待测量位置的高度变化，通过位移计实时获得各个位置的相对高度值，绘制“位置‑相对高度”曲线图，以便于后续基于所述“位置‑相对高度”曲线图对各个小托盘的状态进行分析，基于分析结果，对各个小托盘进行气流或机械结构的调整，有助于提高基片上沉积的薄膜质量。
天眼查资料显示，中微半导体设备（上海）股份有限公司，成立于2004年，位于上海市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本62614.5307万人民币。通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了30家企业，参与招投标项目72次，财产线索方面有商标信息76条，专利信息1620条，此外企业还拥有行政许可77个。
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来源：市场资讯
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