费勉仪器取得电子束蒸发源冷却装置及真空处理系统专利，用于冷却电子束蒸发源_微电子

费勉仪器取得电子束蒸发源冷却装置及真空处理系统专利，用于冷却电子束蒸发源

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2025-12-08 15:08:44

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国家知识产权局信息显示，费勉仪器科技（南京）有限公司、合肥费勉仪器科技有限公司取得一项名为“电子束蒸发源的冷却装置以及真空处理系统”的专利，授权公告号CN223633445U，申请日期为2024年12月。专利摘要显示，本公开涉及真空设备技术领域，公开了一种电子束蒸发源的冷却装置以及真空处理系统。电子束蒸发源的冷却装置包括冷却腔体、进液管和出液管。冷却腔体用于冷却液流通，并设置在一个或多个电子束蒸发源上方，与电子束蒸发源热耦合，用于冷却电子束蒸发源。进液管与冷却腔体连通，用于向冷却腔体内通入冷却液。出液管与冷却腔体连通，用于从冷却腔体内排出冷却液。

天眼查资料显示，费勉仪器科技（南京）有限公司，成立于2017年，位于南京市，是一家以从事仪器仪表制造业为主的企业。企业注册资本1500万人民币。通过天眼查大数据分析，费勉仪器科技（南京）有限公司共对外投资了5家企业，参与招投标项目51次，专利信息97条，此外企业还拥有行政许可9个。

合肥费勉仪器科技有限公司，成立于2023年，位于合肥市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本100万人民币。通过天眼查大数据分析，合肥费勉仪器科技有限公司专利信息2条，此外企业还拥有行政许可1个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

企业科技费勉投资真空仪器冷却合肥电子束专利腔体冷却液蒸发源

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