国家知识产权局信息显示,周星工程股份有限公司申请一项名为“形成电容器的方法”的专利,公开号CN121844721A,申请日期为2025年8月。
专利摘要显示,本公开提供一种形成电容器的方法,该方法包括:在基板上形成含钛氮化物(TiN)的第一电极层的步骤;在第一电极层上形成含钛氮氧化物(TiON)的第一阻挡层的步骤;以及在第一阻挡层上形成含钛氧化物(TiO)的电介质层的步骤。
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来源:市场资讯
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