晶锐达通申请针对NORFLASH存储器的新型测试方法专利，实现腔体内三维拓扑结构均匀性的原位动态测试
创始人
2026-09-08 11:20:43
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国家知识产权局信息显示，深圳市晶锐达通科技有限公司申请一项名为“一种针对NORFLASH存储器的新型测试方法”的专利，公开号CN122719420A，申请日期为2026年6月。

专利摘要显示，本发明涉及半导体器件专用设备制造技术领域，公开了一种针对NORFLASH存储器的新型测试方法，包括：同步采集刻蚀腔体内部中心区与边缘区通道的特征波长辐射强度数据；计算两特定波长强度比值生成无量纲强度序列并计算其一阶时间微分以确定界面转换拐点时刻；计算双区拐点时刻的绝对时间差值，反演生成栅极叠层结构的均匀性指标，本发明将微观空间维度的形貌非均匀性转译为时间轴特征拐点到达延迟矢量，消除视窗污染导致的光强全局衰减干扰，实现腔体内三维拓扑结构均匀性的原位动态测试，避免超薄介质层局域过刻蚀损坏。

天眼查资料显示，深圳市晶锐达通科技有限公司，成立于2025年，位于深圳市，是一家以从事批发业为主的企业。企业注册资本500万人民币。通过天眼查大数据分析，深圳市晶锐达通科技有限公司财产线索方面有商标信息1条。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

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