格科半导体申请半导体废气处理系统及方法专利，减少了半导体工艺设备的宕机时间
创始人
2026-09-05 11:56:10
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国家知识产权局信息显示，格科半导体（上海）有限公司申请一项名为“半导体废气处理系统及半导体废气处理方法”的专利，公开号CN122682382A，申请日期为2025年3月。

专利摘要显示，本发明公开了一种半导体废气处理系统及半导体废气处理方法，用于处理半导体工艺设备产生的废气，半导体废气处理系统包括：第一废气处理单元、第二废气处理单元、报警信号切换模块和切换阀门；第一废气处理单元和第二废气处理单元均通过切换阀门与半导体工艺设备连接，切换阀门用于在第一废气处理单元和第二废气处理单元之间切换；报警信号切换模块接收切换阀门的切换状态、第一废气处理单元的第一故障报警信号和第二废气处理单元的第二故障报警信号，计算故障报警结果，并根据故障报警结果控制半导体工艺设备的运行状态。本发明的半导体废气处理系统及半导体废气处理方法减少了半导体工艺设备的宕机时间，提高了加工效率。

天眼查资料显示，格科半导体（上海）有限公司，成立于2020年，位于上海市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本700000万人民币。通过天眼查大数据分析，格科半导体（上海）有限公司参与招投标项目22次，专利信息185条，此外企业还拥有行政许可112个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

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