欧跃科技申请集成电路加工用真空蒸发设备专利，防止电路板在蒸发镀膜过程中偏移导致镀膜效果产生误差_微电子

欧跃科技申请集成电路加工用真空蒸发设备专利，防止电路板在蒸发镀膜过程中偏移导致镀膜效果产生误差

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2026-04-07 19:18:06

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国家知识产权局信息显示，汕头市欧跃科技有限公司申请一项名为“一种集成电路加工用的真空蒸发设备”的专利，公开号CN121802359A，申请日期为2023年7月。

专利摘要显示，本发明公开了一种集成电路加工用的真空蒸发设备，涉及真空蒸发技术领域。该集成电路加工用的真空蒸发设备，包括箱体、滑门、加热器和抽气机，滑门滑动安装在箱体表面，加热器固定安装在箱体表面，抽气机固定安装在箱体表面，还包括夹紧装置、保护装置和收集装置；启动液压杆后液压杆向电路板方向移动使伸缩杆接触液压杆，伸缩杆接触液压杆收缩过程中带动圆弧板转动，圆弧板转动带动夹板加紧电路板，防止电路板在蒸发镀膜过程中偏移导致镀膜效果产生误差，同时，当夹板夹紧电路板后，会控制液压杆的电流大小使液压杆调整输出功率以避免功率过大导致夹板损坏电路板。

天眼查资料显示，汕头市欧跃科技有限公司，成立于2021年，位于汕头市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本100万人民币。通过天眼查大数据分析，汕头市欧跃科技有限公司专利信息1条，此外企业还拥有行政许可2个。

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来源：市场资讯

欧跃汕头市液压偏移电路板集成电路夹板镀膜专利加工液压杆箱体

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