安徽晶芯取得固化装置及芯片制备系统专利，提高固化速度
创始人
2026-08-19 10:28:34
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国家知识产权局信息显示，安徽晶芯科技有限公司取得一项名为“固化装置及芯片制备系统”的专利，授权公告号CN224641539U，申请日期为2025年8月。
专利摘要显示，本申请公开一种固化装置，包括箱体、盖体、第一通风组件、第二通风组件、加热组件及风机。箱体具有固化腔、冷却风道及循环风道，冷却风道的进风端在箱体的外壁形成进风口，循环风道的进风端与固化腔的底部连通，箱体的外壁还开设有与固化腔连通的取放口；第一通风组件能够打开和封闭进风口，第二通风组件能够导通和隔断循环风道。在固化过程中，第一通风组件将进风口封闭，第二通风组件将循环风道导通，风机能够使得固化腔内的气体循环流动，实现对衬底均匀加热，提高固化速度。固化完成后，第一通风组件将进风口打开，风机引导外界冷空气进入固化腔并吹向下方的衬底，加快光刻胶的冷却速度，提高效率。本申请还公开一种芯片制备系统。
天眼查资料显示，安徽晶芯科技有限公司，成立于2025年，位于滁州市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本3000万人民币。通过天眼查大数据分析，安徽晶芯科技有限公司专利信息43条，此外企业还拥有行政许可2个。
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来源：市场资讯
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