应用材料申请使用多信道传感器数据的等离子体产生质量监控专利，能鉴于等离子体产生设备的组合性能指示执行校正动作
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2025-11-28 11:36:34
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国家知识产权局信息显示，应用材料公司申请一项名为“使用多信道传感器数据的等离子体产生质量监控”的专利，公开号CN121039776A，申请日期为2024年4月。
专利摘要显示，方法包括通过处理装置获得工艺腔室的经校准的反馈控制装置的测量值。方法进一步包括通过处理装置基于经校准的反馈控制装置的测量值来确定工艺腔室的等离子体产生设备的第一性能指示。方法进一步包括自工艺腔室的第一传感器获得等离子体产生设备的第二性能指示。方法进一步包括将等离子体产生设备的第一性能指示和等离子体产生设备的第二性能指示提供至等离子体监控模块。方法进一步包括自等离子体监控模块获得等离子体产生设备的组合性能指示。方法进一步包括鉴于等离子体产生设备的组合性能指示来执行校正动作。
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