华清慧商申请高抗扰MEMS悬臂梁光声传感芯片制造方法专利，有效提高了高抗扰MEMS悬臂梁光声传感芯片的制造准确性_微电子

华清慧商申请高抗扰MEMS悬臂梁光声传感芯片制造方法专利，有效提高了高抗扰MEMS悬臂梁光声传感芯片的制造准确性

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2026-04-05 01:01:06

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国家知识产权局信息显示，华清慧商（北京）科技有限公司申请一项名为“一种高抗扰MEMS悬臂梁光声传感芯片的制造方法”的专利，公开号CN121778666A，申请日期为2026年1月。

专利摘要显示，本发明涉及芯片制造技术领域，尤其涉及一种高抗扰MEMS悬臂梁光声传感芯片的制造方法。包括：对基板粘贴PI弹性膜，判定PI弹性膜是否粘贴合格；将芯片固定在基板的目标区域，对芯片和基板进行键合；确定组合体的键合是否合格；对键合进行调控；基于温度变化曲线确定组合体的温度波动参数；选取温度波动参数小于温度阈值的若干组合体进行封装生成若干芯片成品并组合为芯片成品特征集，通过声波激励对芯片成品特征集中各芯片成品进行频率扫描，判定芯片成品特征集真空度是否稳定；计算芯片成品特征集中各芯片成品的真空度表征值以判定芯片成品是否合格。本发明有效提高了高抗扰MEMS悬臂梁光声传感芯片的制造准确性。

天眼查资料显示，华清慧商（北京）科技有限公司，成立于2011年，位于北京市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本100万人民币。通过天眼查大数据分析，华清慧商（北京）科技有限公司参与招投标项目2次，财产线索方面有商标信息31条，专利信息8条，此外企业还拥有行政许可3个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

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