深圳商报·读创客户端记者 陈发清

近日，中集安瑞科旗下石家庄安瑞科气体机械有限公司（以下简称“气体机械”）与国内特种气体头部企业金宏气体签订的300多支电子特气洁净气瓶Y瓶订单正在分批有序交付。该批电子特气Y瓶主要装载高纯度二氧化碳，用于芯片制造的清洗环节，提升半导体器件的性能和良率。受益于半导体行业对电子特气需求的持续增长，近期公司电子特气管束式集装箱，包括氦气、三氟化氮等核心特气装备的需求同样旺盛。

据悉，目前，围绕半导体这一高景气赛道，中集安瑞科旗下气体机械与中集安瑞环科技有限公司（以下简称“中集环科”)分别在电子特气及含氟湿电子化学品储运领域具备强大实力。特别在AI算力浪潮与芯片国产化进程加速推进的当下，半导体产业对电子气体（尤其是高纯电子特气）与含氟湿电子化学品的需求水涨船高。其中，电子特气被称为芯片“血液”，作为芯片生产的基础材料，电子特气在晶圆制造材料中价值占比达13%，从芯片生长到最后封装，几乎每一步都离不开电子特气。含氟湿电子化学品则扮演着晶圆清洗、刻蚀的“超纯药水”角色，典型代表如高纯氢氟酸、氟化铵、BOE剥离液等，其金属离子杂质含量需控制在十亿分之一（ppb）级别。

据市场研究机构Global Information预测，全球电子特气市场预计在2026年至2032年间将以约7.45%的复合年增长率持续增长，市场规模有望从2025年的47.8亿美元攀升至2032年的79亿美元。多家券商研报也指出，AI浪潮正催化含氟电子材料需求的快速增长，从晶圆刻蚀用高纯氢氟酸到先进制程含氟电子特气，需求量随晶圆厂扩产与制程复杂度提升而大幅增加。

这类高纯介质对包装容器的要求极为苛刻，罐体材料不得与介质发生任何反应，内壁不能有颗粒脱落或金属离子析出，密封系统必须确保气体分子零泄漏。特别是含氟类介质普遍具有强腐蚀性，且极易吸潮变质。某种程度是，一套合格的半导体级储运装备，就是一座移动的“超净实验室”。

而中集安瑞科气体机械在电子特气领域深耕逾十年，建有国内第一条洁净气瓶和洁净气瓶集装箱生产线，制造技术达到世界先进水平，现已成为国内产品种类最全、资质最多、产能最大的专业生产企业之一，国内市场占有率长期稳居头部。其核心产品涵盖电子气体管束式集装箱（MEGC）与Y瓶，可适配氦气、三氟化氮、氯化氢、硅烷、三氟化硼、六氟化硫、高纯二氧化碳等各类高纯电子特种气体储运需求，并且与中国特检院合作建立了3个电子气体管束式集装箱检测站，确保产品全生命周期安全可靠。凭借独到的加工工艺与严格的质量管控体系，气体机械深受中船派瑞、金宏气体、南大光电、华特气体等头部客户信赖。

在含氟湿电子化学品储运领域，全球罐式集装箱龙头中集环科同样构筑了技术优势。通过深度合作全球顶尖衬氟防腐企业Sun Fluoro，中集环科推出的APV内衬罐箱采用先进内衬工艺与精密抛光技术，有效降低金属离子析出，确保高纯氢氟酸、氟化铵、BOE剥离液等强腐蚀性介质在储运中的超高洁净度，已获国际头部企业长期认证。针对六氟磷酸锂、无水氟化氢等热敏易潮解物料，中集环科还提供从罐体材质、特种密封件到自研Tankmiles温控系统的定制化方案，一站式解决特种物料储运难题。

当前，AI对算力的需求与半导体产业链的本土化建设，将持续为高端氟化工与电子特气产业发展提出要求。中集安瑞科有望依托气体机械在电子特气领域的领先地位，以及中集环科在高端化学品罐箱领域的全球化网络，通过深耕“芯”赛道，提供更安全高效的储运装备持续发展。