歌尔微电子申请MEMS芯片及其制作方法专利，该MEMS芯片及其制成的传感器具有检测精度高的优点
创始人
2026-03-31 17:28:30
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国家知识产权局信息显示，潍坊歌尔微电子有限公司申请一项名为“MEMS芯片、MEMS芯片的制作方法、传感器及电子设备”的专利，公开号CN121757787A，申请日期为2025年12月。
专利摘要显示，本申请公开一种MEMS芯片、MEMS芯片的制作方法、传感器及电子设备，涉及MEMS芯片技术领域，MEMS芯片包括依次层叠设置的基底层、缓冲层、绝缘层、隔离层和活动极板层，绝缘层设置有容纳槽，容纳槽内设置有固定极板层，隔离层对应至少部分固定极板层设置有通孔，以使固定极板层和活动极板层面对设置且形成有间隔；缓冲层包括间隔排布的多根缓冲柱，各缓冲柱包括相对设置的底部和顶部，底部与基底层抵接，顶部与绝缘层抵接，任意相邻两根缓冲柱之间设置有间隙。该MEMS芯片及其制成的传感器具有检测精度高的优点。
天眼查资料显示，潍坊歌尔微电子有限公司，成立于2001年，位于潍坊市，是一家以从事非金属矿物制品业为主的企业。企业注册资本50000万人民币。通过天眼查大数据分析，潍坊歌尔微电子有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目5次，专利信息552条，此外企业还拥有行政许可22个。
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来源：市场资讯
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