国家知识产权局信息显示,歌尔微电子股份有限公司申请一项名为“超声微型压电传感器芯片及其制备方法和声波定向控制方法”的专利,公开号CN121715316A,申请日期为2025年12月。
专利摘要显示,本发明公开了一种超声微型压电传感器芯片及其制备方法和声波定向控制方法,涉及芯片技术领域,超声微型压电传感器芯片包括第一衬底、第二衬底、第一传感单元以及第二传感单元;第二衬底与第一衬底呈间隔设置;第一传感单元包括依次层叠设置的第一振动膜、第一底电极、第一压电层及第一顶电极,第一振动膜的两侧分别与第一衬底和第二衬底连接;第二传感单元包括依次层叠设置的第二振动膜、第二底电极、第二压电层及第二顶电极,第二振动膜的两侧分别与第一衬底和第二衬底连接;第一衬底、第二衬底、第一振动膜及第二振动膜形成中空腔。本发明既能保证两侧振动膜高效工作,又能实现良好电学隔离和互联,还能控制中间介质声学特性。
天眼查资料显示,歌尔微电子股份有限公司,成立于2017年,位于青岛市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本61243.8891万人民币。通过天眼查大数据分析,歌尔微电子股份有限公司共对外投资了12家企业,参与招投标项目128次,专利信息1851条,此外企业还拥有行政许可23个。
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