晟成光电取得钙钛矿Inline式真空镀膜设备专利，避免镀率产生较大波动_微电子

晟成光电取得钙钛矿Inline式真空镀膜设备专利，避免镀率产生较大波动

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2026-03-26 00:06:48

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国家知识产权局信息显示，昆山晟成光电科技有限公司取得一项名为“一种钙钛矿Inline式真空镀膜设备”的专利，授权公告号CN224031082U，申请日期为2025年3月。

专利摘要显示，本实用新型涉及一种钙钛矿Inline式真空镀膜设备，包括蒸镀腔、设于蒸镀腔的下部中心的蒸发源、设于蒸镀腔的上部的移动机构、由移动机构驱动移动的载板以及设于蒸镀腔外的真空泵；蒸镀腔以载板的输送面为分界面分为上腔和下腔，真空泵通过安装法兰连接在蒸镀腔的外部，安装法兰内形成一个空腔，空腔的上部直接连通下腔，空腔的侧方通过上吸气管连通上腔的侧壁，空腔的侧方还通过下吸气管连通下腔的侧壁。本实用新型中上腔与下腔的吸气位置独立开来并设为三个，所以上腔不需要通过下腔吸气，而是直接从上吸气管获得吸力，这样蒸镀腔的所有空间都可以快速抽气到真空状态，上腔与下腔之间不会有很大的压力差，避免镀率产生较大波动，镀膜稳定，重复性好。

天眼查资料显示，昆山晟成光电科技有限公司，成立于2021年，位于苏州市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本20000万人民币。通过天眼查大数据分析，昆山晟成光电科技有限公司参与招投标项目17次，专利信息80条，此外企业还拥有行政许可9个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

企业显示科技投资真空泵法兰昆山设备 Inline 专利下腔空腔镀腔蒸镀腔吸气管

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