众源科技申请中频镀膜电源、控制方法及真空镀膜系统专利，提高溅射镀膜的膜层质量_微电子

众源科技申请中频镀膜电源、控制方法及真空镀膜系统专利，提高溅射镀膜的膜层质量

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2026-03-18 04:27:56

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国家知识产权局信息显示，湖南众源科技有限公司申请一项名为“中频镀膜电源、控制方法及真空镀膜系统”的专利，公开号CN121689847A，申请日期为2025年10月。

专利摘要显示，本申请公开了一种中频镀膜电源、控制方法及真空镀膜系统，电源包括交直流转换电路，交直流转换电路的输入端用于连接三相交流电，交直流转换电路的输出端用于输出直流电源；双极性中频发生器电路，双极性中频发生器电路的输入端连接交直流转换电路的输出端；电平脉冲发生器电路，电平脉冲发生器电路串联至双极性中频发生器电路的输入端正负极之间；控制器，控制器分别连接电平脉冲发生器电路、双极性中频发生器电路和交直流转换电路的控制端；控制器通过控制脉冲电平发生器电路使双极性中频发生器电路输出五电平中频电压和对应电流至孪生靶负载。本申请能够提高溅射镀膜的膜层质量。

天眼查资料显示，湖南众源科技有限公司，成立于2012年，位于衡阳市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本2150万人民币。通过天眼查大数据分析，湖南众源科技有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目8次，财产线索方面有商标信息3条，专利信息27条，此外企业还拥有行政许可5个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

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