东莞新科申请改善半导体内应力方法专利，能够改善内应力造成的半导体变形_微电子

东莞新科申请改善半导体内应力方法专利，能够改善内应力造成的半导体变形

创始人

2026-03-07 15:58:56

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国家知识产权局信息显示，东莞新科技术研究开发有限公司申请一项名为“一种改善半导体内应力的方法”的专利，公开号CN121620269A，申请日期为2024年8月。

专利摘要显示，本发明公开了一种改善半导体内应力的方法，包括：将半导体置于真空室内，并对所述半导体进行预清洗处理；在清洗后的半导体的表面上沉积第一DLC涂层；对所述第一DLC涂层的表面进行刻蚀处理；在刻蚀后的第一DLC涂层的表面上沉积第二DLC涂层；对所述第二DLC涂层的表面进行刻蚀处理；在刻蚀后的第二DLC涂层的表面上沉积第三DLC涂层。采用本发明的技术方案通过在半导体的表面上反复沉积DLC，能够改善内应力造成的半导体变形，从而可以保障半导体性能。

天眼查资料显示，东莞新科技术研究开发有限公司，成立于2004年，位于东莞市，是一家以从事专业技术服务业为主的企业。企业注册资本1050万美元。通过天眼查大数据分析，东莞新科技术研究开发有限公司参与招投标项目1次，财产线索方面有商标信息1条，专利信息646条，此外企业还拥有行政许可43个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

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