昇澜半导体取得PZT压电薄膜晶圆无损检测设备专利，缩短对准时间提高检测效率_微电子

昇澜半导体取得PZT压电薄膜晶圆无损检测设备专利，缩短对准时间提高检测效率

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2026-03-04 09:44:36

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国家知识产权局信息显示，昇澜半导体（常州）有限公司取得一项名为“PZT压电薄膜晶圆的无损检测设备”的专利，授权公告号CN223966447U，申请日期为2025年1月。

专利摘要显示，本实用新型公开了PZT压电薄膜晶圆的无损检测设备，包括底座，所述底座上设有电动滑轨，所述电动滑轨上安装有电动旋转台，所述电动旋转台上安装有真空吸盘，所述底座顶部固定连接有扫描机构，所述扫描机构一侧设有对准机构，所述对准机构包括机械手，所述机械手上安装有固定架，所述固定架上转动连接有升降螺杆，属于晶圆检测技术领域。该PZT压电薄膜晶圆的无损检测设备，通过机械手将对准座送至真空吸盘顶部，升降电机带动多个对准杆处于晶圆外侧，然后驱动电机带动对准杆沿着限位槽进行移动，使得多个对准杆同时向中央靠拢，对晶圆进行快速对准，使得晶圆能够对准真空吸盘的中心，缩短对准时间，从而能够提高检测效率。

天眼查资料显示，昇澜半导体（常州）有限公司，成立于2023年，位于常州市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本379.953751万人民币。通过天眼查大数据分析，昇澜半导体（常州）有限公司共对外投资了2家企业，专利信息18条，此外企业还拥有行政许可6个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

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