至纯科技申请半导体湿法清洗高温化学液冷却机构专利，实现均匀冷却_微电子

至纯科技申请半导体湿法清洗高温化学液冷却机构专利，实现均匀冷却

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2026-02-19 00:12:24

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国家知识产权局信息显示，上海至纯洁净系统科技股份有限公司;江苏启微半导体设备有限公司申请一项名为“一种半导体湿法清洗用高温化学液冷却机构及冷却设备”的专利，公开号CN121539981A，申请日期为2025年12月。

专利摘要显示，本发明公开了化学废液冷却技术领域的一种半导体湿法清洗用高温化学液冷却机构及冷却设备，包括冷却罐、设于其内的冷却盘管及位于盘管下方的惰性气体混合机构，该混合机构通过向高温化学液注入惰性气体，利用气泡上浮诱导形成强制对流循环，从而打破罐内液体的温度分层，实现均匀冷却，设备还包括缓冲罐、排液阀及分布于各罐体内的温度传感器，控制系统配置有二级温度监控联锁逻辑，仅当冷却罐与缓冲罐内的温度数值均满足预设安全值时，控制系统才控制排液阀开启以执行最终排液。本发明解决了静态冷却易产生热分层的问题，并通过双重温控联锁有效防止了高温废液的意外排放。

天眼查资料显示，上海至纯洁净系统科技股份有限公司，成立于2000年，位于上海市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本38671.777万人民币。通过天眼查大数据分析，上海至纯洁净系统科技股份有限公司共对外投资了45家企业，参与招投标项目77次，财产线索方面有商标信息70条，专利信息337条，此外企业还拥有行政许可45个。

江苏启微半导体设备有限公司，成立于2017年，位于南通市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本35500万人民币。通过天眼查大数据分析，江苏启微半导体设备有限公司参与招投标项目12次，财产线索方面有商标信息4条，专利信息135条，此外企业还拥有行政许可19个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

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