柯尔微电子申请晶圆检测装置及方法专利，实现晶圆正面与背面缺陷的自动化检测_微电子

柯尔微电子申请晶圆检测装置及方法专利，实现晶圆正面与背面缺陷的自动化检测

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2026-02-18 22:43:01

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国家知识产权局信息显示，柯尔微电子装备（厦门）有限公司申请一项名为“晶圆检测装置及方法”的专利，公开号CN121548282A，申请日期为2025年12月。

专利摘要显示，本公开提供一种晶圆检测装置及方法，晶圆检测装置包括：用于放置待检测晶圆的接口装置；用于执行晶圆的对位操作，并设置有晶圆干燥装置的旋转定位装置，晶圆干燥装置用于干燥晶圆；包括第一载台、正面检测装置和背面检测装置的晶圆检测设备，第一载台用于固定晶圆，正面检测装置用于检测第一载台上的晶圆的正面缺陷，背面检测装置用于检测晶圆的背面缺陷；用于将接口装置中的晶圆转移至旋转定位装置、将旋转定位装置中的晶圆转移至晶圆检测设备、以及将晶圆干燥装置中的晶圆转移至接口装置的上料机械手；以及与上料机械手相互独立设置，用于将晶圆检测设备中的晶圆转移至晶圆干燥装置的下料机械手。晶圆检测方法使用上述晶圆检测装置。

天眼查资料显示，柯尔微电子装备（厦门）有限公司，成立于2010年，位于厦门市，是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本2352.941176万人民币。通过天眼查大数据分析，柯尔微电子装备（厦门）有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目23次，财产线索方面有商标信息9条，专利信息93条，此外企业还拥有行政许可7个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

企业显示缺陷投资检测装置柯尔微电子转移至专利机械手上料晶圆

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