荣芯半导体取得显影装置专利，提高制成的稳定性与可控性
创始人
2026-02-14 09:42:19
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国家知识产权局信息显示，荣芯半导体（宁波）有限公司取得一项名为“显影装置”的专利，授权公告号CN223911164U，申请日期为2024年12月。
专利摘要显示，本实用新型提供了一种显影装置，包括吸附组件和振动部，所述吸附组件用于吸附并承载晶圆，所述振动部与所述吸附组件连接，所述振动部用于驱动所述晶圆振动，以使所述晶圆上的显影液在所述晶圆表面扩散。该显影装置可通过振动部使晶圆产生震动，加速显影液在晶圆表面的扩散和反应，防止通过电机急速旋转辅助显影液扩散造成电机的损伤，满足显影工艺需求，提高制成的稳定性与可控性。
天眼查资料显示，荣芯半导体（宁波）有限公司，成立于2021年，位于宁波市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本41452.2292万人民币。通过天眼查大数据分析，荣芯半导体（宁波）有限公司共对外投资了6家企业，财产线索方面有商标信息15条，专利信息97条。
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来源：市场资讯
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