国家知识产权局信息显示,沃特洛电气制造公司取得一项名为“用于加热半导体基座中的热控制的混合轴组件”的专利,授权公告号CN223786494U,申请日期为2023年5月。
专利摘要显示,本实用新型涉及一种用于加热半导体基座中的热控制的混合轴组件,包括:基底;具有上部分和下部分的毂,上部分通过上结合层固定到基底上;以及通过下结合层固定到毂的下部分的轴。轴包括热导率低于毂的材料和基底的材料的热导率的材料。
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