蓝芯芯电子科技申请超高压快恢复二极管制备方法专利,器件耐压达3000-6500V
创始人
2026-01-06 14:36:49
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国家知识产权局信息显示,蓝芯芯电子科技(深圳)有限公司;长沙亚曼光电科技有限公司申请一项名为“超高压快恢复二极管的制备方法及其制得的二极管”的专利,公开号CN121284982A,申请日期为2025年10月。

专利摘要显示,本发明提供一种超高压快恢复二极管的制备方法及其制得的二极管,涉及半导体器件制造领域。该方法包括:制备第一外延,在第一N型Si衬底表面生长100‑150um的第一N型Si外延层;制备第二外延,在第二N型Si衬底表面依次生长1‑10um的P型Si外延层和100‑150um的第二N型Si外延层;对两外延层表面RCA清洗后真空压力键合,热退火形成键合层;机械研磨去除第二N型Si衬底,保留P型Si外延层;干法刻蚀P型Si外延层形成沟槽;制备正、背面金属层。本发明以两片薄外延键合替代厚外延生长,规避厚外延良率低、成本高问题;用外延P型层替代注入‑扩散工艺,减少缺陷;简化流程、提升产能,器件耐压达3000‑6500V,性能与可靠性显著提升。

天眼查资料显示,蓝芯芯电子科技(深圳)有限公司,成立于2025年,位于深圳市,是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本50万人民币。通过天眼查大数据分析,蓝芯芯电子科技(深圳)有限公司专利信息4条,此外企业还拥有行政许可1个。

长沙亚曼光电科技有限公司,成立于2025年,位于长沙市,是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本300万人民币。通过天眼查大数据分析,长沙亚曼光电科技有限公司。

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来源:市场资讯

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