柯尔微电子申请旋转升降夹持结构专利，能够带动晶圆平稳旋转
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2025-12-31 16:08:28
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国家知识产权局信息显示，柯尔微电子装备（厦门）有限公司申请一项名为“一种旋转升降夹持结构”的专利，公开号CN121237723A，申请日期为2025年8月。
专利摘要显示，本申请提出了一种旋转升降夹持结构，安装于基座上，包括：旋转升降模组、夹持升降模组和运动方向转换模组；旋转升降模组包括：旋转机构和升降机构；升降机构内设置用以放置晶圆的支撑部，且升降机构配置用于将晶圆顶升离/下降至工作位；旋转机构配置用于为运动方向转换模组提供圆周方向运动趋势；运动方向转换模组设置于旋转模组和夹持升降模组上方，并由夹持升降模组驱动实现竖直方向上位移，以及将夹持升降模组的升降运动转换为运动方向转换模组的径向位移。采用上述结构，能够带动晶圆平稳旋转，使得晶圆检测装置能精准高效的检测晶圆。
天眼查资料显示，柯尔微电子装备（厦门）有限公司，成立于2010年，位于厦门市，是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本2352.941176万人民币。通过天眼查大数据分析，柯尔微电子装备（厦门）有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目23次，财产线索方面有商标信息9条，专利信息87条，此外企业还拥有行政许可7个。
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来源：市场资讯
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