谦亨祥瑞申请半导体制造晶圆光刻装置专利，有效提高晶圆片的加工效率
创始人
2025-12-29 10:08:35
0次
国家知识产权局信息显示，北京谦亨祥瑞科技有限公司申请一项名为“一种半导体制造晶圆光刻装置”的专利，公开号CN121209214A，申请日期为2025年10月。
专利摘要显示，本发明属于半导体加工技术领域，公开了一种半导体制造晶圆光刻装置，包括底座，所述底座表面固定安装有竖板，所述竖板表面转动安装有固定盘，两组竖板之间设置有顶板，所述顶板底壁设置有光刻机，两组竖板之间设置有定位机构，所述定位机构包括有承载组件与输送组件，两组竖板之间设置有防尘机构，所述防尘机构包括有防护罩与导向组件，通过设置承载组件与输送组件相互配合，可以控制两组固定盘间歇地转动一定角度，进而可以依次逐个将批量的晶圆片移动至光刻机正下方进行光刻加工，在对晶圆片进行光刻加工的同时，可以对下一组待加工的晶圆片进行安装，并且可以将上一组加工完毕的晶圆片取下，有效提高晶圆片的加工效率。
天眼查资料显示，北京谦亨祥瑞科技有限公司，成立于2016年，位于北京市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本1550万人民币。通过天眼查大数据分析，北京谦亨祥瑞科技有限公司共对外投资了2家企业，财产线索方面有商标信息1条，专利信息6条，此外企业还拥有行政许可3个。
声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。
来源：市场资讯
相关内容
热门资讯
华为取得功率变换装置和电源柜专...
国家知识产权局信息显示，华为技术有限公司取得一项名为“功率变换装置和电源柜”的专利，授权公告号CN2...
风标教育申请基于Proteus...
国家知识产权局信息显示，广州风标教育技术股份有限公司申请一项名为“一种基于Proteus的电路设计实...
康达新材：中科华微已形成MCU...
有投资者在互动平台向康达新材提问：“请介绍一下公司新收购的子公司中科华微的产品和技术。” 针对上述提...
中韩半导体ETF：1月9日融资...
证券之星消息，1月9日，中韩半导体ETF（513310）融资买入2.48亿元，融资偿还2.51亿元，...
骁勇光电取得一体式挂墙激光贴地...
国家知识产权局信息显示，苏州骁勇光电科技有限公司取得一项名为“一种一体式能够挂墙的激光贴地水平仪”的...
艾礼富电子取得管路液位检测传感...
国家知识产权局信息显示，艾礼富电子（深圳）有限公司取得一项名为“一种管路液位检测传感器”的专利，授权...
大电流交直流电源,加热电源,恒...
济南能华机电设备有限公司在大电流交直流电源、加热电源、恒流电源、脉冲电源、温升试验电源、短路试验电源...
DiBAC4(5)（63560...
DiBAC4(5) 是一种灵敏度高、激发与发射波长更长的膜电位探针，同时也是用于检测细胞膜电位的慢响...
莱特光电：1月9日融资买入42...
证券之星消息，1月9日，莱特光电（688150）融资买入4227.6万元，融资偿还4137.84万元...
奔图电子携手上海鑫赛盟深化产业...
当前，办公设备行业正加速迈入数字化、智能化转型深水区，市场竞争已从单一产品比拼升级为"产品+服务+供...