鹏芯微取得分配装置及半导体生产设备专利，可实现对加工腔室气流的灵活分配
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2025-12-27 23:07:56
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国家知识产权局信息显示，深圳市鹏芯微集成电路制造有限公司取得一项名为“一种分配装置及半导体生产设备”的专利，授权公告号CN223728722U，申请日期为2024年12月。
专利摘要显示，本申请公开了一种分配装置及半导体生产设备。该分配装置包括主体结构和管路机构，主体结构包括多个开口组，开口组包括多个连通加工腔室的第一开口；管路机构用于连通气流源，管路机构包括对应每一开口组设置的分配组件，分配组件包括多个分支管路，各开口组至少连通有一个分支管路，管路机构还包括多个阀体，各阀体与分支管路一一对应，阀体用于将对应的分支管路开启或关闭。
天眼查资料显示，深圳市鹏芯微集成电路制造有限公司，成立于2021年，位于深圳市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本712800万人民币。通过天眼查大数据分析，深圳市鹏芯微集成电路制造有限公司参与招投标项目21次，财产线索方面有商标信息50条，专利信息102条，此外企业还拥有行政许可215个。
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来源：市场资讯
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