武汉凌云光电申请薄膜件装夹装置和方法专利，提高刻蚀良率
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2025-12-08 15:09:01
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国家知识产权局信息显示，武汉凌云光电科技有限责任公司申请一项名为“一种薄膜件装夹装置和方法”的专利，公开号CN121075988A，申请日期为2025年7月。
专利摘要显示，本发明提供一种薄膜件装夹装置和方法，包括用于张拉薄膜件的张拉机构，以及用于支撑或者吸附薄膜件的支撑吸附机构，所述张拉机构张拉薄膜件时，所述薄膜件由所述支撑吸附机构支撑，所述张拉机构张拉薄膜件结束后，所述支撑吸附机构吸附所述薄膜件。本发明可以使装夹后的薄膜件平整，提高刻蚀良率。
天眼查资料显示，武汉凌云光电科技有限责任公司，成立于2001年，位于武汉市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本673万人民币。通过天眼查大数据分析，武汉凌云光电科技有限责任公司共对外投资了12家企业，参与招投标项目37次，财产线索方面有商标信息4条，专利信息165条，此外企业还拥有行政许可11个。
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来源：市场资讯
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