国家知识产权局信息显示,罗伯特·博世有限公司申请一项名为“具有电解耦的上电极的微机械传感器”的专利,公开号CN122680441A,申请日期为2025年1月。
专利摘要显示,本发明涉及一种用于电容式测量至少一个环境参量的微机械传感器(10),具有限界空腔(32)的边缘区域(30),至少区段地跨越所述空腔(32)的膜片(28),所述膜片在竖直方向上能根据所述环境参量偏移到所述空腔(32)中,至少一个根据所述环境参量改变的测量电容(12),所述测量电容具有与所述膜片(28)耦合的第一上电极(Mt)和相对的第一下电极(Mb),至少一个参考电容(K1、K2、K3、K4),所述参考电容具有分别相对于所述边缘区域(30)固定的第二上电极(Nt)和相对的第二下电极(Nb),其中,所述第二上电极(Nt)与所述膜片(28)电解耦。
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