邦芯半导体申请膜层在线检测系统专利，实现实时线上检测
创始人
2026-08-19 22:21:18
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国家知识产权局信息显示，上海邦芯半导体科技有限公司申请一项名为“膜层在线检测系统、晶圆传送设备及在线检测方法”的专利，公开号CN122602837A，申请日期为2026年7月。
专利摘要显示，本发明提供了一种膜层在线检测系统、晶圆传送设备及在线检测方法，在线测温单元获取标准晶圆的合格膜层的起始温度以及冷却到目标温度的冷却时间，获取传送过程中工艺晶圆膜层的起始温度和冷却到目标温度的冷却时间，膜层的表面粗糙度越高反射率越低，导致红外温度检测出现偏差，工艺晶圆膜层的起始温度会与标准晶圆合格膜层的起始温度出现偏差，比对单元根据工艺晶圆膜层的起始温度与标准晶圆合格膜层的起始温度，判断工艺晶圆的膜层质量是否符合工艺要求，根据工艺晶圆膜层冷却到目标温度的冷却时间与标准晶圆合格膜层冷却到目标温度的冷却时间判断冷却系统是否异常，实现了实时线上检测。
天眼查资料显示，上海邦芯半导体科技有限公司，成立于2020年，位于上海市，是一家以从事批发业为主的企业。企业注册资本6166.6668万人民币。通过天眼查大数据分析，上海邦芯半导体科技有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目30次，财产线索方面有商标信息22条，专利信息280条，此外企业还拥有行政许可8个。
声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。
来源：市场资讯
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