晶瑞电子材料申请过氧化氢组合物及其制备方法和应用专利，有利于在半导体制程中清洗半导体产品或半导体中间产品
创始人
2026-08-18 11:22:09
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国家知识产权局信息显示，晶瑞电子材料股份有限公司申请一项名为“一种过氧化氢组合物及其制备方法和应用”的专利，公开号CN122587816A，申请日期为2026年3月。
专利摘要显示，本发明公开了一种过氧化氢组合物及其制备方法和应用，该过氧化氢组合物包含过氧化氢、水、有机磷的碱金属盐、含氮杂环化合物、特定聚合物链和pH值缓冲剂，制备时将各组分混合混匀并提纯即可；实践表明，本发明过氧化氢组合物在储存稳定性、颗粒抑制等方面实现了突出的协同效果，有利于在半导体制程中清洗半导体产品或半导体中间产品，例如可以用于14nm及以下先进制程中的晶圆清洗、光刻胶去除、蚀刻后残留物清洗工艺。
天眼查资料显示，晶瑞电子材料股份有限公司，成立于2001年，位于苏州市，是一家以从事化学原料和化学制品制造业为主的企业。企业注册资本107297.4775万人民币。通过天眼查大数据分析，晶瑞电子材料股份有限公司共对外投资了14家企业，参与招投标项目34次，财产线索方面有商标信息3条，专利信息98条，此外企业还拥有行政许可30个。
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来源：市场资讯
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