恒运昌真空申请阻抗匹配电路专利，实现实时的阻抗匹配
国家知识产权局信息显示，深圳市恒运昌真空技术股份有限公司;北方集成电路技术创新中心（北京）有限公司申请一项名为“阻抗匹配电路、阻抗匹配方法、存储介质和等离子体产生装置”的专利，公开号CN121727517A，申请日期为2024年9月。
专利摘要显示，本发明公开一种阻抗匹配电路、阻抗匹配方法、存储介质和等离子体产生装置，其中，阻抗匹配电路包括：控制电路、检测电路和阻抗调整电路；检测电路，用于检测等离子体产生装置反应腔室内的等离子体密度信息，并将其输出至控制电路；控制电路，用于根据等离子体密度信息预测反应腔室内的阻抗变化，并向阻抗调整电路输出阻抗调整指令；阻抗调整电路，用于根据阻抗调整指令改变系统的输入阻抗，以实现阻抗匹配。本发明通过检测等离子体密度信息，并从中得到反应腔室的阻抗值，进而调整系统的输入阻抗，实现阻抗匹配。由于可以不间断检测等离子体密度信息，及时体现反应腔室阻抗值的变化，进而实现实时的阻抗匹配。
天眼查资料显示，深圳市恒运昌真空技术股份有限公司，成立于2013年，位于深圳市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本5077.1129万人民币。通过天眼查大数据分析，深圳市恒运昌真空技术股份有限公司共对外投资了3家企业，参与招投标项目17次，财产线索方面有商标信息26条，专利信息321条，此外企业还拥有行政许可17个。
北方集成电路技术创新中心（北京）有限公司，成立于2017年，位于北京市，是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本20000万人民币。通过天眼查大数据分析，北方集成电路技术创新中心（北京）有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目23次，财产线索方面有商标信息6条，专利信息576条，此外企业还拥有行政许可125个。
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来源：市场资讯