芯碁微装获得实用新型专利授权：“用于无掩模板直写光刻曝光机的吸盘电势监控系统及直写光刻曝光机”_电子电器

芯碁微装获得实用新型专利授权：“用于无掩模板直写光刻曝光机的吸盘电势监控系统及直写光刻曝光机”

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2026-03-20 15:11:38

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证券之星消息，根据天眼查APP数据显示芯碁微装（688630）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“用于无掩模板直写光刻曝光机的吸盘电势监控系统及直写光刻曝光机”，专利申请号为CN202520419485.1，授权日为2026年3月20日。

专利摘要：本实用新型公开了一种用于无掩模板直写光刻曝光机的吸盘电势监控系统及直写光刻曝光机，该系统包括：吸盘装置、电势传感器、开关组件、离子发生器和控制器，其中，控制器用于通过发送吸真空指令或破真空指令来控制开关组件的通断状态，以控制风道的气流方向，进而控制吸盘装置进入吸真空状态或破真空状态，以实现对板材的吸附或分离功能，并接收电势传感器发送的电势差，以在吸盘装置进入破真空状态且电势差超过预存的标定值时，向离子发生器发出开启放电指令，以使离子发生器开启放电，从而向风道中的破真空气流中注入离子。本实用新型可以有效地消除吸盘装置与板材之间因摩擦而产生的电荷积累，避免静电对机台上电子器件的损害。

今年以来芯碁微装新获得专利授权16个，较去年同期增加了14.29%。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了1.31亿元，同比增34.33%。

通过天眼查大数据分析，合肥芯碁微电子装备股份有限公司共对外投资了4家企业，参与招投标项目166次；财产线索方面有商标信息35条，专利信息390条，著作权信息54条；此外企业还拥有行政许可26个。

数据来源：天眼查APP

以上内容为证券之星据公开信息整理，由AI算法生成（网信算备310104345710301240019号），不构成投资建议。

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