西安拓界朗途科技申请半导体芯片缺陷在线检测系统专利，有效消除高速工况的光学动模糊
创始人
2026-03-09 08:51:51
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国家知识产权局信息显示，西安拓界朗途科技有限公司申请一项名为“基于光学物理特性的半导体芯片缺陷在线检测系统”的专利，公开号CN121612897A，申请日期为2026年2月。
专利摘要显示，本发明涉及材料检测技术领域，公开了一种基于光学物理特性的半导体芯片缺陷在线检测系统，包括：相干光投射模块、参考光投射模块、位移驱动反馈单元、离散光电探测阵列、材料支撑体以及逻辑处理单元，位移驱动反馈单元获取转速脉冲信号，逻辑处理单元计算激光采样频率并调节脉冲触发时序，使待测带材轴向位移量恒定在预设分辨率范围内，相干光投射模块与参考光投射模块以不同角度投射光束，构建差分光学通路，离散光电探测阵列采集复合光学信号，逻辑处理单元利用信号差分逻辑抵消背景相位噪声，提取相干斑图相位特征以确定缺陷空间坐标，本发明利用物理对冲机制在感知源头剥离机械干扰，有效消除高速工况的光学动模糊。
天眼查资料显示，西安拓界朗途科技有限公司，成立于2019年，位于西安市，是一家以从事文化艺术业为主的企业。企业注册资本50万人民币。通过天眼查大数据分析，西安拓界朗途科技有限公司专利信息11条，此外企业还拥有行政许可1个。
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来源：市场资讯
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