截至2026年6月22日 09:54，中证半导体产业指数(931865)强势上涨3.46%，成分股有研新材上涨10.00%，中科飞测上涨9.42%，晶升股份上涨9.40%，天岳先进，珂玛科技等个股跟涨。半导体ETF博时(159582)上涨3.12%， 冲击3连涨。最新价报4.26元。拉长时间看，截至2026年6月18日，半导体ETF博时近1周累计上涨16.04%。

流动性方面，半导体ETF博时盘中换手5.32%，成交2552.30万元。拉长时间看，截至6月18日，半导体ETF博时近1月日均成交1.07亿元。

消息面上，国产设备技术突破加速替代。中微公司在先进存储器件制造中自主开发刻蚀机已有300多台反应器量产，下一代90:1超高深宽比低温刻蚀设备付运验证，PrimoAngnovaTM实现140:1高深宽刻蚀，PrimoDomingoTM达成700:1的SiGe/Si高选择比。其薄膜设备2025年营收同比大增224.23%，ALD系列达国际领先水平。同时并购杭州众硅填补湿法设备空白，计划五年覆盖60%以上高端设备市场。拓荆科技2025年营收65.19亿元同比增58.87%，PECVD、ALD技术规模化量产，混合键合技术打破3DNAND等集成限制。AI算力高景气持续驱动设备需求扩张，国产替代窗口加速打开。

此外，AI数据中心正成为功率半导体新一轮上行周期的核心驱动力，开源证券指出，全球功率半导体市场规模预计从2025年的289亿美元增长至2030年的433亿美元，其中AI相关需求占比近四分之一，碳化硅与氮化镓在数据中心应用的复合增长率分别高达29.5%和46.3%。英飞凌与意法半导体均上调产能预期，前者预计2027年AI数据中心收入将超25亿欧元，后者预测单GW价值量达2.3亿美元，AI产能已开始挤占传统车规产能。

半导体ETF博时紧密跟踪中证半导体产业指数，中证半导体产业指数从上市公司中，选取不超过40只业务涉及半导体材料、设备和应用等相关领域的上市公司证券作为指数样本，以反映半导体核心产业上市公司证券的整体表现。

数据显示，截至2026年5月29日，中证半导体产业指数(931865)前十大权重股分别为中微公司、北方华创、寒武纪、拓荆科技、长川科技、中芯国际、海光信息、华海清科、中科飞测、华峰测控，前十大权重股合计占比76.21%。

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