苏州芯轮半导体申请晶圆旋转清洗装置专利，便于集成安装降低设计成本
创始人
2026-02-17 16:12:47
0次
国家知识产权局信息显示，苏州芯轮半导体科技有限公司申请一项名为“一种晶圆旋转清洗装置”的专利，公开号CN121531974A，申请日期为2025年11月。
专利摘要显示，本发明公开了一种晶圆旋转清洗装置，包括中空外主轴，中空外主轴内设置有中空导向轴，中空导向轴内设置有中空内主轴，中空外主轴和中空导向轴底部均与底部端板密封连接，中空内主轴下端部穿过底部端板与旋转升降模组连接；中空外主轴顶部设置有清洗仓，清洗仓内中部设置有旋转盘，旋转盘与中空内主轴连接，中空外主轴与中空导向轴之间设置有至少两个摆臂，摆臂下端部与中空导向轴之间设置有摆动支点，摆臂上端部设置有夹块，夹块与摆动支点之间的摆臂上还与推拉气缸连接，多个摆臂上的夹块配合夹紧晶圆；清洗仓内还设置有清洗喷头。本发明在水平方向上的尺寸较小，便于集成安装，降低设计成本。
天眼查资料显示，苏州芯轮半导体科技有限公司，成立于2023年，位于苏州市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本2000万人民币。通过天眼查大数据分析，苏州芯轮半导体科技有限公司参与招投标项目1次，财产线索方面有商标信息6条，专利信息16条，此外企业还拥有行政许可4个。
声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。
来源：市场资讯
相关内容
热门资讯
辅助科普实测:麻友圈辅助工具!...
辅助科普实测:麻友圈辅助工具!“详细外挂透视辅助软件教程”2026年07月08日 12时20分48秒
资讯揭晓-秀山博胡智能插件包测...
自定义秀山博胡系统规律，只需要输入自己想要的开挂功能，一键便可以生成出微扑克专用辅助器，不管你是想分...
教程指点:川麻换三张辅助通用版...
教程指点:川麻换三张辅助通用版!“透视挂辅助下载教程”2026年07月08日 12时18分11秒
资讯揭晓-八戒牛牛智能插件包测...
资讯揭晓-八戒牛牛智能插件包测试_（附图文教程）1、让任何用户在无需AI插件第三方神器的情况下就能够...
今日教程:麻将争霸有没有挂确实...
今日教程:麻将争霸有没有挂确实有挂!“包教包会”2026年07月08日 12时15分36秒
最新一款:小松宿松麻将透视挂辅...
最新一款:小松宿松麻将透视挂辅助挂!“拿好牌调胜率”2026年07月08日 12时12分59秒
资讯揭晓-奥远国际智能插件包测...
资讯揭晓-奥远国际智能插件包测试_（附图文教程） 奥远国际辅助插件辅助器中分为三种模型：奥远国际辅助...
实测分析:微乐辽宁麻将透视挂通...
实测分析:微乐辽宁麻将透视挂通用版!“曝光透视必备猫腻”2026年07月08日 12时10分22秒
辅助神器:相约福建麻将开挂透视...
辅助神器:相约福建麻将开挂透视教程!“的确是有挂”2026年07月08日 12时07分46秒
最新开挂办法:麻友圈其实是有辅...
最新开挂办法:麻友圈其实是有辅助!“哔哩哔哩已升级”2026年07月08日 12时05分10秒