弥费科技申请半导体制造系统中搬运设备仿真方法和装置专利，能够提高仿真正确率
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2026-02-14 21:42:42
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国家知识产权局信息显示，弥费科技（上海）股份有限公司申请一项名为“半导体制造系统中搬运设备仿真方法和装置”的专利，公开号CN121523089A，申请日期为2025年10月。
专利摘要显示，本申请涉及一种半导体制造系统中搬运设备仿真方法和装置。所述方法包括：接收上位系统发送的搬运指令，并基于所述搬运指令以及预先加载的虚拟仿真环境确定目标路径；基于所述目标路径调用所述搬运设备模拟器对应的第一运行轴的运行逻辑，控制所述搬运设备模拟器中的目标搬运设备移动；在所述目标搬运设备移动的过程中，获取所述目标搬运设备与障碍的距离所在的距离区间；获取所述距离区间对应的速度作为目标速度，并基于所述目标速度控制所述目标搬运设备移动。采用本方法能够提高仿真正确率。
天眼查资料显示，弥费科技（上海）股份有限公司，成立于2014年，位于上海市，是一家以从事通用设备制造业为主的企业。企业注册资本4657.9401万人民币。通过天眼查大数据分析，弥费科技（上海）股份有限公司共对外投资了4家企业，参与招投标项目29次，财产线索方面有商标信息51条，专利信息176条，此外企业还拥有行政许可16个。
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来源：市场资讯
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