北方华创申请半导体工艺腔室专利，解决工艺炉管易损坏问题
创始人
2026-06-19 11:16:52
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国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“半导体工艺腔室”的专利，公开号CN122248992A，申请日期为2024年12月。
专利摘要显示，本发明公开一种半导体工艺腔室，所公开的半导体工艺腔室包括工艺管、第一法兰组件、第二法兰组件、载舟装置、密封门组件和尾部封堵组件，其中，所述第一法兰组件设于所述工艺管的第一管口所在的第一端，所述第二法兰组件设于所述工艺管的第二管口所在的第二端，所述载舟装置设于所述工艺管内，且所述载舟装置的第一端与所述第一法兰组件连接，所述载舟装置的第二端与所述第二法兰组件连接，所述密封门组件与所述第一法兰组件活动连接，用于通过所述第一法兰组件密封所述第一管口，所述尾部封堵组件通过所述第二法兰组件密封所述第二管口。上述方案可以解决相关技术中的半导体工艺腔室中的工艺炉管存在容易损坏的问题。
天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1434次，财产线索方面有商标信息75条，专利信息5850条，此外企业还拥有行政许可340个。
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来源：市场资讯
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